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高效過(guò)濾器檢漏測(cè)試操作程序

1.0目的

通過(guò)檢測(cè)高效過(guò)濾器的泄漏量，發(fā)現(xiàn)高效過(guò)濾器及其安裝的缺陷，如濾材中的小針孔，連接密封部位的縫隙等，以便及時(shí)采取補(bǔ)救措施。

2.0范圍

適用于公司潔凈室（區(qū)）的高效過(guò)濾器泄露的檢查。

3.0職責(zé)

品管部檢驗(yàn)員負(fù)責(zé)測(cè)試。

4.0程序

4.1測(cè)試方法：塵埃粒子計(jì)數(shù)掃描巡檢法。

4.2測(cè)試位置：對(duì)于10000級(jí)至300000級(jí)潔凈度要求的潔凈室。包括：層流工作臺(tái)、層流罩，以及設(shè)備上的高效過(guò)濾器。必須在現(xiàn)場(chǎng)對(duì)以下部位進(jìn)行掃描巡查。

4.2.1過(guò)濾器的濾材。

4.2.2濾材與其框架內(nèi)部的連接。

4.2.3過(guò)濾器框架的密封墊和過(guò)濾器組支撐框架之間的連接。

4.2.4支撐框架和墻壁或頂棚之間的連接。

4.3檢測(cè)儀器

塵埃粒子計(jì)數(shù)器。

4.4檢測(cè)程序：

4.4.1被檢漏過(guò)濾器必須已測(cè)過(guò)風(fēng)量，在設(shè)計(jì)風(fēng)速的80~120%之間運(yùn)行。

4.4.2用塵埃粒子計(jì)數(shù)器采樣頭掃描過(guò)濾器的出風(fēng)側(cè)。采樣頭離過(guò)濾器距離約2~3cm，以5~20mm/s的速度移動(dòng)，對(duì)被檢過(guò)濾器整個(gè)斷面、封頭膠、和安裝框架處進(jìn)行掃描。

4.4.3當(dāng)周期為2min時(shí)，0.5μm粒子數(shù)≥20粒/L，表明泄漏量超標(biāo)，需要修補(bǔ)或更換。

4.4.4用環(huán)氧樹(shù)脂膠堵漏或緊固螺栓后，再進(jìn)行掃描巡檢。

4.5檢測(cè)頻度

4.5.1在安裝或更換高效過(guò)濾器時(shí)應(yīng)進(jìn)行檢測(cè)。

4.5.2正常使用情況下，每年至少檢測(cè)一次。

4.6被檢過(guò)濾器要填寫《高效過(guò)濾器檢漏測(cè)試記錄》。

5.0附件

《高效過(guò)濾器檢漏測(cè)試記錄》

6.0修改歷史