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半導(dǎo)體行業(yè)凈化解決方案

半導(dǎo)體行業(yè)

半導(dǎo)體器件極易受到多種沾污的損害,隨著半導(dǎo)體制造業(yè)的發(fā)展,顆粒污染對(duì)成品率的影響越來越大,因此需要對(duì)生產(chǎn)過程中影響成品率的顆粒污染進(jìn)行有效控制。

沾污經(jīng)常導(dǎo)致有缺陷的芯片,致命的缺陷是導(dǎo)致硅片上的芯片無法通過電學(xué)測試的原因。據(jù)估計(jì)80%的芯片電學(xué)失效是由沾污帶來的缺陷引起的,電學(xué)失效引起的成品率損失,導(dǎo)致硅片上的管芯報(bào)廢,以及很高的芯片制造成本。

為了使芯片上的器件功能正常,避免硅片制造中的沾污是絕對(duì)必要的。隨著器件關(guān)鍵尺寸的縮小,對(duì)沾污的控制要求變得越來越嚴(yán)格。因此領(lǐng)先的晶圓設(shè)備,微粒過濾和控制AMC是必須的。微粒過濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)首要擔(dān)心的問題。不能很好的在潔凈室或設(shè)備中控制微?;駻MC將大大的削弱企業(yè)的經(jīng)營利潤。

半導(dǎo)體制造工藝要求:
半導(dǎo)體制造工藝生產(chǎn)過程的潔凈等級(jí)要求比較高,要求一般的是光照制造,還有微環(huán)境,其他的一些大的區(qū)域,包括薄膜等在百級(jí)。潔凈度的要求是不是越高越好,這個(gè)主要還是決定我們的設(shè)計(jì),或者對(duì)生產(chǎn)的要求,潔凈度越高意味著FFU覆蓋率會(huì)成倍的增加。

一 目前對(duì)一些潔凈室的設(shè)計(jì)還是大環(huán)境,不需要很高的潔凈度。還有濕度控制,濕度控制主要通過循環(huán)通氣冷卻系統(tǒng),去除潔凈室循環(huán)空氣的顯熱,最終控制潔凈室溫度。濕度控制主要通過新風(fēng)控制箱進(jìn)行控制,溫度的控制目的有兩個(gè),首先是人員的舒適性,溫度在21-23度都沒有問題,作為制程來說我們關(guān)注的是波動(dòng)性。控制潔凈房的濕度主要目的是濕度過低將容易產(chǎn)生靜電、濕度過高,對(duì)產(chǎn)品的影響。

二 正壓,通過潔凈室內(nèi)的壓力傳感器控制MAU風(fēng)機(jī)的頻率改變送風(fēng)量保持潔凈室的設(shè)定正壓,靜壓層保持微正壓。

三 照度和噪聲,現(xiàn)在半導(dǎo)體制造設(shè)備尺寸越來越大,安裝起來一部分照明會(huì)被遮掩,噪聲的問題比較難解決,主要在設(shè)備選型的時(shí)候注意。

 

半導(dǎo)體通過產(chǎn)車間凈化解決方案說明:

潔凈室的主要的問題是產(chǎn)品、工具、加工過程和氣味控制的污染 。傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是在車間的整個(gè)天花板上布滿高效過濾器,整個(gè)地面為回風(fēng)柵板。

如今我公司生產(chǎn)的FFU使用自帶風(fēng)機(jī)的空氣過濾裝置,解決了繁復(fù)的安裝和性價(jià)比問題,是目前市場上一種安靜、價(jià)格優(yōu)良的機(jī)組,為潔凈室輸送高質(zhì)量的循環(huán)空氣。

空氣進(jìn)入天花板內(nèi)的特效顆粒過濾器,以層流模式流向地面,進(jìn)入到空氣再循環(huán)系統(tǒng)后與補(bǔ)給的空氣一道返回空氣過濾器系統(tǒng)。位于天花板中的特效顆粒過濾器,要么是高效顆??諝膺^濾器(HEPA)要么是超低滲透率空氣過濾器(ULPA)。HEPA纖維過濾器用玻璃纖維制作成形,產(chǎn)生層狀氣流。

污染物

來源

引發(fā)問題

解決方案

粉塵

空氣

造成集成電路斷路、短路,影響成品率

初中效過濾器+普通、高效過濾器/FFU

NH3,NMP

外氣

“T-top“現(xiàn)象

活性炭過濾器

 

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